WEKO3
アイテム
シリコンウェハの抵抗率と最適電流
https://doi.org/10.15099/00000489
https://doi.org/10.15099/000004893f3cf027-e3a9-4b3d-b54c-4cb6ea502810
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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0721500003.pdf (593.9 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||
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公開日 | 2009-03-10 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | シリコンウェハの抵抗率と最適電流 | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | シリコン | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 抵抗率 | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 最適電流 | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | 四探針法 | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||
ID登録 | ||||||||
ID登録 | 10.15099/00000489 | |||||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||||
著者 |
山下, 正人
× 山下, 正人
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著者別名 | ||||||||
姓名 | Yamashita, Masato | |||||||
その他(別言語等)のタイトル | ||||||||
その他のタイトル | The Relationship between the Resistivity of Silicon Wafer and the Optimum Current | |||||||
書誌情報 |
富山大学教育学部紀要. B, 理科系 巻 50, p. 23-33, 発行日 1997-03 |
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ISSN | ||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
収録物識別子 | 0285-9610 | |||||||
書誌レコードID | ||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
収録物識別子 | AN00175704 | |||||||
フォーマット | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | application/pdf | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
出版者 | ||||||||
出版者 | 富山大学教育学部 | |||||||
資源タイプ(DSpace) | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | Article |