Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
公開日 |
2007-12-19 |
タイトル |
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タイトル |
ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第5報,マスク層の加工条件依存性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など) |
言語 |
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言語 |
jpn |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Tribo-Nanolithography |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Friction Force Microscope |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
3D Micro-Fabrication Single Crystal Silicon |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
KOH |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
HF |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Amorphous |
キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Cantilever for Processing |
資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
著者 |
川堰, 宣隆
森田, 昇
山田, 茂
高野, 登
大山, 達雄
芦田, 極
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著者別名 |
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姓名 |
Kawasegi, Noritaka |
著者別名 |
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姓名 |
Morita, Noboru |
著者別名 |
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姓名 |
Yamada, Shigeru |
著者別名 |
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姓名 |
Takano, Noboru |
著者別名 |
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姓名 |
Oyama, Tatsuo |
著者別名 |
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姓名 |
Ashida, Kiwamu |
その他(別言語等)のタイトル |
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その他のタイトル |
3D Micro-Fabrication using Combination Technique of Nano-scale Processing and Chemical Etching : 5th Report, Dependence of Mask on Processing Conditions |
抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
This study is intended to fabricate 3D microstructures on single crystal silicon by tribo-nanolithography(TNL) and wet chemical etching. In previous report, it could be known that height of microstructure fabricated by the TNL and subsequent wet chemical etching can be controlled by adjusting the TNL conditions such as normal load, pitch of processing line and number of processing. This paper reports an etch result by HF solution in order to evaluate the mechanism of height change with the TNL conditions. As a result, it is found that amorphous layer formed by the TNL can be selectively etched in HF solution though non-processed area withstands etching. The mechanism of change of masking effect is evaluated by utilizing this phenomenon. As a result, it can be known that change of masking effect by normal load is resulted from change of thickness of the amorphous layer. On the other hand, those by pitch of processing line and number of processing are resulted from conversion ratio of single crystal to amorphous structure. |
書誌情報 |
日本機械学會論文集. C編 = Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C
巻 71,
号 706,
p. 2041-2046,
発行日 2005-06
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ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
03875024 |
書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00187463 |
権利 |
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権利情報 |
rights: 本文データは社団法人日本機械学会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
出版者 |
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出版者 |
社団法人日本機械学会 |
資源タイプ(DSpace) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Article |