@article{oai:toyama.repo.nii.ac.jp:00004186, author = {田地, 新一 and 龍山, 智栄 and 市村, 昭二}, journal = {富山大学工学部紀要}, month = {Mar}, note = {The epitaxial growth of GaN by employing a technique previously reported of vapor phase reaction between GaCl and NH_3 in an Ar carrier gas ambient is described. Single crystal layers 10--100 μm thick and -- 0. 5 cm^2 in area, were obtained on (0001) oriented sapphire substrate at deposition temperature about 1045 ℃ The best undoped layers obtained had carner concentration of 2--7 X 10^<18> cm^<-3> and electron mobility about 90 cm^2/V sec., III-V化合物GaN(窒化ガリウム)は,直接選移形のエネルギーバンド構造を有し,その結晶構造はウルツ鉱形で六方晶系に属する。 その禁制帯幅は室温で約3.4eVであり,光学的基礎吸収端が3650Åの近紫外部にある。 この大きな禁制帯幅のため,種々の応用が考えられている。 既に今日までに,不純物(主としてII-B族元素Zn,Mg等)を添加し,絶縁体としたGaNと,undopedのn形GaNによるi-n形ダイオードで,青色・緑色・黄色・赤色の発光が報告されている。 特にZnを添加したものからは最高パワー効率0.1%が得られている。 しかし,現在までに得られたundoped GaNは常にn形を示し,その自由電子濃度も10^17cm^{-3}以上と高く,又p形結晶はまだ確認されていない。 ドナーの原因としては,窒素の空格子点が考えられている。 我々は,高効率青色発光素予の材料としてGaNを取り上げ,その結晶成長を試みている。 本論文には,我々の行ったundoped GaNの作成とその電気的性質について報告する。, Article, 富山大学工学部紀要,27}, pages = {43--47}, title = {GaNの結晶成長とその電気的性質}, volume = {27}, year = {1976} }